| 基于傅里叶等效模型的MEMS微波功率传感器灵敏度与热电堆长度的研究* |
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| 引用本文： | 刘彤,廖小平,王德波. 基于傅里叶等效模型的MEMS微波功率传感器灵敏度与热电堆长度的研究*[J]. 半导体学报, 2011, 32(7): 074009-5 |
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| 作者姓名： | 刘彤 廖小平 王德波 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,东南大学MEMS教育部重点实验室,东南大学MEMS教育部重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（批准号：61076108，60976094，60676043）;国家高技术研究发展计划（863计划）（批准号：2007AA04Z328） |
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| 摘 要： | 本文采用傅里叶等效模型对一种与GaAs MMIC工艺兼容的终端式MEMS微波功率传感器的热转移行为进行了研究,在该傅里叶等效模型的基础上,重点分析了微波功率传感器灵敏度与热电堆长度之间的关系。对传感器芯片进行了测试,频率为10GHz,输入功率为1~100mW,传感器具有良好的匹配特性和较高的线性度；热电偶的长度为40,70和100μm时,基于该傅里叶等效模型计算得到的灵敏度值分别为0.12,0.20和0.29mV/mW, 而相对应的测试结果分别为0.10,0.22和0.30mV/mW,其误差小于0.02 mV/mW。因此基于该傅里叶等效模型的灵敏度表达式得到了实验验证。
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| 关 键 词： | 功率传感器 等效模型 MEMS 傅立叶 灵敏度 电长度 微波 传递行为 |
Sensitivity of MEMS microwave power sensor with the length of thermopile based on Fourier equivalent model |
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| Liu Tong,Liao Xiaoping and Wang Debo. Sensitivity of MEMS microwave power sensor with the length of thermopile based on Fourier equivalent model[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2011, 32(7): 074009-5 |
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| Authors: | Liu Tong Liao Xiaoping Wang Debo |
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| Affiliation: | Key Laboratory of MEMS of Ministry of Education, Southeast University,Key Laboratory of MEMS of Ministry of Education, Southeast University,Key Laboratory of MEMS of Ministry of Education, Southeast University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS thermopile microwave power sensitivity |
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