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| 采用低分子聚碳硅烷气相热裂解制备Si-C-N复合超微粉 | |
| 作者姓名： | 谢凯 张长瑞 |
| 作者单位： | 国防科技大学材料工程与应用化学系!湖南长沙，410073，国防科技大学材料工程与应用化学系!湖南长沙，410073，国防科技大学材料工程与应用化学系!湖南长沙，410073，国防科技大学材料工程与应用化学系!湖南长沙，410073，国防科技大学材料工程与应用化学系!湖南长沙，410073 |
| 摘 要： | 本文报道了以低分子聚碳硅烷为反应源物质，以氨气为反应气氛，采用化学气相裂解方法，制备了粒径为0．05～0．1μm的Si－C－N复合相超微粉，考察了各种反应条件对生成粒子性能的影响规律，并探讨了Si-C-N粒子的生成机理。 |
| 关 键 词： | 碳化硅 氮化硅 复合超微粉 气相反应 |
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