| 用于GaAs射频集成电路的不同厚度氧化铝MIM 电容的研究 |
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| 引用本文： | 周佳辉,常虎东,刘洪刚,刘桂明,徐文俊,李琦,李思敏,何志毅,李海鸥. 用于GaAs射频集成电路的不同厚度氧化铝MIM 电容的研究[J]. 半导体学报, 2015, 36(5): 054004-4. DOI: 10.1088/1674-4926/36/5/054004 |
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| 作者姓名： | 周佳辉 常虎东 刘洪刚 刘桂明 徐文俊 李琦 李思敏 何志毅 李海鸥 |
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| 基金项目： | 国家自然基金（Grant no. 61274077），广西自然科学基金（Grant no. 2013GXNSFGA019003），广西教育部基金(no.201202ZD041),桂林市技术人才基金 (no.20120104-8 and 20130107-4), 中国博士后研究基金 (no. 2012M521127 and 2013T60566), 中国”973“基础研究基金 (2011CBA00605, 2010CB327501)，桂林电子科技大学研究生教育创新计划资助项目（GDYCSZ201448 and GDYCSZ201449） |
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| 摘 要： | 本文研究了不同厚度的氧化铝对MIM电容直流和射频特性的影响。在1MHz下，对于20nm氧化铝MIM电容，其拥有3850 pF/mm2的高电容密度和可接受的681 ppm/V2的VCC-α电压系数。1MHz时突出的74 ppm/V2VCC-α电压系数，8.2GHz谐振频率以及2GHz时41的Q值可以从100nm氧化铝MIM电容获得。采用GaAs工艺以及原子层淀积制造的高性能ALD氧化铝MIM电容很有可能成为GaAs射频集成电路很有前景的候选器件。
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| 关 键 词： | MIM capacitors Al2O3 thickness |
MIM capacitors with various Al2O3 thicknesses for GaAs RFIC application |
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| Zhou Jiahui,Chang Hudong,Liu Honggang,Liu Guiming,Xu Wenjun,Li Qi,Li Simin,He Zhiyi and Li Haiou. MIM capacitors with various Al2O3 thicknesses for GaAs RFIC application[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2015, 36(5): 054004-4. DOI: 10.1088/1674-4926/36/5/054004 |
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| Authors: | Zhou Jiahui Chang Hudong Liu Honggang Liu Guiming Xu Wenjun Li Qi Li Simin He Zhiyi Li Haiou |
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| Affiliation: | 1. Guangxi Experiment Center of Information Science, Guilin University of Electronic Technology, Guilin 541004, China;Microwave Device and IC Department, Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China;2. Microwave Device and IC Department, Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China;3. Guangxi Experiment Center of Information Science, Guilin University of Electronic Technology, Guilin 541004, China;4. Guangxi Experiment Center of Information Science, Guilin University of Electronic Technology, Guilin 541004, China;State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MIM capacitors Al2O3 thickness |
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