| 厚钛过渡层缓解铜基上热丝 CVD 金刚石薄膜内应力 |
| |
| 引用本文： | 赵齐,代明江,韦春贝,邱万奇,侯惠君,谭笛. 厚钛过渡层缓解铜基上热丝 CVD 金刚石薄膜内应力[J]. 表面技术, 2013, 42(5): 19-23 |
| |
| 作者姓名： | 赵齐 代明江 韦春贝 邱万奇 侯惠君 谭笛 |
| |
| 作者单位： | 广州有色金属研究院, 广州 510651;华南理工大学 材料科学与工程学院, 广州 510640;广州有色金属研究院, 广州 510651;广州有色金属研究院, 广州 510651;华南理工大学 材料科学与工程学院, 广州 510640;广州有色金属研究院, 广州 510651;广州有色金属研究院, 广州 510651 |
| |
| 基金项目： | 广东省科技计划项目(2011A081301003) |
| |
| 摘 要： | 以紫铜为基体,在紫铜上先采用磁控溅射技术镀一层金属钛,再以H2和CH4作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在钛过渡层上合成金刚石薄膜,研究不同钛过渡层厚度对金刚石薄膜质量的影响。利用X射线(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)、扫描电镜(SEM)分析薄膜的结构、成分和表面形貌,用能谱仪(EDS)对热处理前后样品的表面进行了元素分析。研究发现,当钛过渡层厚度为3μm时,生成的金刚石薄膜受到较大内应力而发生破裂;当钛过渡层厚度为25μm时,金刚石薄膜质量较好,薄膜受一定内应力,但没有破裂;850℃左右保温热处理12 h,铜原子与钛原子发生了扩散。
|
| 关 键 词： | 金刚石薄膜 钛过渡层 内应力 热丝化学气相沉积 |
| 收稿时间： | 2013-05-25 |
| 修稿时间： | 2013-06-18 |
Thick Titanium Interlayer Remitting Stress in Diamond Films Deposited on Copper Substrate by Hot Filaments Chemical Vapor Deposition |
| |
| ZHAO Qi,DAI Ming-jiang,WEI Chun-bei,QIU Wan-qi,HOU Hui-jun and TAN Di. Thick Titanium Interlayer Remitting Stress in Diamond Films Deposited on Copper Substrate by Hot Filaments Chemical Vapor Deposition[J]. Surface Technology, 2013, 42(5): 19-23 |
| |
| Authors: | ZHAO Qi DAI Ming-jiang WEI Chun-bei QIU Wan-qi HOU Hui-jun TAN Di |
| |
| Affiliation: | Guangzhou Research Institute of Non-ferrous Metals, Guangzhou 510651 , China;School of Materials Science and Engineering, South China University of Technology, Guangzhou 510640 , China;Guangzhou Research Institute of Non-ferrous Metals, Guangzhou 510651 , China;Guangzhou Research Institute of Non-ferrous Metals, Guangzhou 510651 , China;School of Materials Science and Engineering, South China University of Technology, Guangzhou 510640 , China;Guangzhou Research Institute of Non-ferrous Metals, Guangzhou 510651 , China;Guangzhou Research Institute of Non-ferrous Metals, Guangzhou 510651 , China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | diamond films titanium interlayer internal stress hot filaments chemical vapor deposition |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《表面技术》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《表面技术》下载全文 |
|
