| 制备过程中对VO_2薄膜热致相变光电性能的控制 |
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| 引用本文： | 卢勇,林理彬,邹萍,何捷,王鹏. 制备过程中对VO_2薄膜热致相变光电性能的控制[J]. 激光杂志, 2000, 0(5) |
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| 作者姓名： | 卢勇 林理彬 邹萍 何捷 王鹏 |
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| 作者单位： | 四川大学物理系!辐射物理及技术教育部重点实验室，成都610064，四川大学物理系!辐射物理及技术教育部重点实验室，成都610064，四川大学物理系!四川大学分析测试中心，成都610064，四川大学物理系!辐射物理及技术教育部重点实验室，成都610064，四川大学物理系!辐射物理及技术教育部重 |
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| 摘 要： | 本文利用真空还原V2 O5的方法制备出优质对VO2 薄膜 ;研究了不同真空还原时间VO2 薄膜热致相变过程中光电性能的影响 ;利用XPS、XRD对薄膜的化学状态和结晶状态进行了研究。制备的薄膜高 /低温电阻变化最大达到三个数量级 ,90 0nm处的光学透过率在相变前后改变了 40 %左右 ,热致相变性能优良。讨论了不同的真空还原时间下VO2 薄膜热滞回线的宽度、相变温度点以及高低温光透射性能。最后给出了最佳真空还原时间。
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| 关 键 词： | VO_2薄膜 热致相变 光电性能 |
Control the optical and electrical properties of VO_2 thin films during preparation process |
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| Lu Yong Lin Libin Zou Pin He Jie Wang Peng. Control the optical and electrical properties of VO_2 thin films during preparation process[J]. Laser Journal, 2000, 0(5) |
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| Authors: | Lu Yong Lin Libin Zou Pin He Jie Wang Peng |
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| Affiliation: | Lu Yong 1 Lin Libin 1 Zou Pin 2 He Jie 1 Wang Peng 1 |
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| Keywords: | VO_2 thin film thermochromism electrical and optical properties |
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