衬底预应变对Sm-Fe-B超磁致伸缩薄膜磁性能的影响 |
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引用本文: | 黎思文,周白杨,翁章钊.衬底预应变对Sm-Fe-B超磁致伸缩薄膜磁性能的影响[J].磁性材料及器件,2014(3). |
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作者姓名: | 黎思文 周白杨 翁章钊 |
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作者单位: | 福州大学材料科学与工程学院; |
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基金项目: | 福建省自然科学基金资助项目(2010J01278);福州大学开放测试基金资助项目(2012) |
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摘 要: | 采用离子束溅射沉积法在不同预应变衬底上制备Sm-Fe-B超磁致伸缩薄膜(GMF)。使用LK-G150激光微位移传感器与交变梯度磁强计(AGM)分别测试薄膜悬臂梁自由端偏转量与磁滞回线,以研究衬底预应变对薄膜磁致伸缩性能及软磁性能的影响。研究结果表明,在预应变衬底上所制备薄膜样品的低场磁敏性明显优于无预应变衬底上镀膜所获样品,且矫顽力较无衬底预应变样品减小;张预应变衬底上镀膜所获样品长、短轴方向磁滞回线之间差异变大,磁各向异性增强,易磁化轴位于长轴方向;而压预应变衬底上镀膜所获样品长轴与短轴方向磁滞回线之间差异减小,磁各向异性减小。
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关 键 词: | Sm-Fe-B薄膜 离子束溅射 衬底预应变 软磁特性 磁致伸缩 |
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