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| 介观区尺度的集成微光机机电系统的研究与应用 | |
| 引用本文： | 刘强,杨晖.介观区尺度的集成微光机机电系统的研究与应用[J].机械制造,2000,38(10):25-27. |
| 作者姓名： | 刘强 杨晖 |
| 作者单位： | [1]广东工业大学 [2]东莞理工大学 |
| 摘 要： | 20世纪科学技术的高速发展，促使人们将科学视角一方面转向宇观世界的更深处，渴望藉此揭示宇宙起源之谜；另一方面，人们又把触角伸向微观物质世界的细微处，期望获得更细致、更精确的新知识体系。日本东京科学大学谷口纪男教授于 1974年提出了纳米技术 (nanotechnology)的概念。即随着精密加工技术的发展，精度要求的提高，加工精度达 1nm数量级的要求已提上日程。由于固体可确定的长度或可分辨的极限是原子之间或原子晶格之间的距离，即约为 0.3nm，因此， 1nm精度的加工所相应的最小去除尺寸单位必定是 1个原子尺寸，由此揭开了微 /纳米… |
| 关 键 词： | 集成微光机电系统 介观区尺度 微纳米技术 |
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