| 光学薄膜厚度监控——极值点判断方法研究 |
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| 引用本文： | 韩军 杨晓军 等. 光学薄膜厚度监控——极值点判断方法研究[J]. 西安工业学院学报, 2001, 21(2): 105-109 |
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| 作者姓名： | 韩军 杨晓军 等 |
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| 作者单位： | [1]西安工业学院光电科学与工程系，陕西西安710032 [2]西安光学精密机械研究所 |
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| 摘 要： | 提出了一种计算机自动判读极值点的方法，利用此方法可以在光学薄膜厚度监控过程中，实现计算机对规整λ／4膜系膜层厚度的自动监控，此方法具有监控精度高、稳定性好的特点。
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| 关 键 词： | 自动监控 薄膜厚度 极值点 光学薄膜 计算机 |
| 文章编号： | 1000-5714(2001)02-0105-05 |
| 修稿时间： | 2000-11-13 |
The monitoring control of optical thin-film thickness |
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| HAN Jun ,MI Qian ,YANG Xiao jun. The monitoring control of optical thin-film thickness[J]. Journal of Xi'an Institute of Technology, 2001, 21(2): 105-109 |
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| Authors: | HAN Jun MI Qian YANG Xiao jun |
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| Affiliation: | HAN Jun 1,MI Qian 1,YANG Xiao jun 2 |
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| Abstract: | A method for auto judge the point of limit value in computer was presented in this paper.By using this method,auto monitoring control for quarter film system thin film thickness can be achieved at the process of the monitoring control of optical thin film thickness.This method has advantages of high precision and high steadiness. |
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| Keywords: | monitoring control thin film thickness point of limit value |
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