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| 新型纳米加工技术的研究进展 | |
| 作者姓名： | 朱团 王英 刑艳 邱敏 陈丽华 |
| 作者单位： | 黑河学院物理化学系;上海交通大学微纳科学技术研究院;东北师范大学化学学院胶体与界面研究所; |
| 基金项目： | 黑河学院科学技术研究项目“新型纳米加工技术的研究”(项目编号:KJY201208) |
| 摘 要： | 随着纳米技术的发展和电子器件小型化的需求，纳米加工方法越来越多地引起人们的关注，纳米技术的核心是纳米加工技术。新型纳米加工技术突破传统光刻限制和有机高分子结构的限制，属于多项纳米操纵加工技术的系统工程研究，主要特色为瞄准学科前沿的创新性应用基础研究，具有较强的创新性、前瞻性和原创性，具有广泛的应用前景。 |
| 关 键 词： | 无机纳米材料 纳米加工技术 研究 |
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