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| 测量高温机械参数的陶瓷传感器技术 | |
| 引用本文： | KnaPP,J 胡奇伟.测量高温机械参数的陶瓷传感器技术[J].压电与声光,1991,13(6):78-81. |
| 作者姓名： | KnaPP J 胡奇伟 |
| 摘 要： | 具有可变空气间隙几何形状的差动电容式传感器能在高达900℃的高温下测量机械参数。本文将表明陶瓷,尤其是氧化铝,是用作电容传感器的多用途材料。工艺技术细节包括激光切割,溅射镀膜,氧化铝元件的反应焊接,电气连接和电缆中的氧化铝,以及新的应变和位移传感器都举例作了说明。 |
| 关 键 词： | 陶瓷 传感器 机械参数 测量 高温 |
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