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分类号
杂志ISSN号
深圳某公司固化炉技术改造
作者姓名:
刘晓峰
作者单位:
深圳赛意法微电子有限公司,广东,深圳,518053
摘 要:
磁碟生产中的软盘芯片需在高温高湿环境中存放,固化炉系统大量泄露湿气无法满足工艺要求。对此,通过采取缩短送回风管线、解决回风瓶颈以及从结构上对固化间进行改造等措施,控制泄露率,并用现有的蒸汽加热取代电加热,实现了节能并降低成本的目的。
关 键 词:
固化炉 湿热空气泄露率 回风管 节能
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