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GY—500高精密样品架的改造
作者姓名:刘汉林  刘立宁  刘传舜
作者单位:中国科学院沈阳科学仪器研制中心
摘    要:对川于超高其主设备中的GY-500样品架进行了重要的改造。改造后的样品架复位精度达到±10μm,可长期保持不变;高温达到800℃,寿命长;低温达到-150℃,升温时间为原来1/9;消除了样品台的振颤,有利于微区分析;增加了样品台的倾斜功能。改造后的样品台体积缩小,外形美观.操作轻松灵活,完全满足各种电表面分析仪器的技术要求。

关 键 词:超高真空系统,高精度样品架,防震颤
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