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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
GY—500高精密样品架的改造
作者姓名:
刘汉林
刘立宁
刘传舜
作者单位:
中国科学院沈阳科学仪器研制中心
摘 要:
对川于超高其主设备中的GY-500样品架进行了重要的改造。改造后的样品架复位精度达到±10μm,可长期保持不变;高温达到800℃,寿命长;低温达到-150℃,升温时间为原来1/9;消除了样品台的振颤,有利于微区分析;增加了样品台的倾斜功能。改造后的样品台体积缩小,外形美观.操作轻松灵活,完全满足各种电表面分析仪器的技术要求。
关 键 词:
超高真空系统,高精度样品架,防震颤
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