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责任编辑
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杂志ISSN号
磷化镓液相外延层中位错密度的测定
作者姓名:
李玉增
王海涛
作者单位:
北京有色金属研究总院(李玉增),北京有色金属研究总院(王海涛)
摘 要:
一、前言 近年来,用作绿色发光管材料的掺氮磷化镓液相外延发展较快,而其衬底多用液封直拉磷化镓单晶。外延层中的位错密度大致与衬底中的位错密度成正比,它决定着少子
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