| 柱弧离子镀制备Ti/TiN/Ti(N,C)/TiC黑色硬质膜 |
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| 引用本文： | 马胜歌,姜翠宁.柱弧离子镀制备Ti/TiN/Ti(N,C)/TiC黑色硬质膜[J].真空科学与技术学报,2006,26(4):290-294. |
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| 作者姓名： | 马胜歌 姜翠宁 |
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| 作者单位： | 1. 深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心,深圳,518029
2. 深圳新南亚技术开发有限公司,深圳,518029 |
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| 摘 要： | 利用自制的柱弧离子镀膜机，在不同硬度基体上制备了Ti／TiN／Ti（N，C）／TiC多层复合膜。膜呈深黑色，反射率小于14％，亮度值L^＊小于43，沉积速率约为0．78μm/h，表面分布较多液滴缺陷。膜的力学性能测试受基体硬度和膜层厚度影响较大，基体越硬、膜层越厚，膜的硬度以及与基体的结合力测试结果越大。YW2硬质合金基体上制备0．82μm的黑色硬质膜显微硬度Hv（25g）=3229，结合力为26．70N。该设备和工艺已成功应用于工业生产。
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| 关 键 词： | 黑色硬质膜 柱弧离子镀 多层膜 |
| 文章编号： | 1672-7126（2006）04-0290-05 |
| 收稿时间： | 2005-11-28 |
| 修稿时间： | 2005年11月28 |
Growth of Black Hard Films of Ti/TiN/Ti(N,C)/TiC by Cylindrical Arc Ion Plating |
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| Ma Shengge,Jiang Cuining.Growth of Black Hard Films of Ti/TiN/Ti(N,C)/TiC by Cylindrical Arc Ion Plating[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2006,26(4):290-294. |
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| Authors: | Ma Shengge Jiang Cuining |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiC |
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