一种新的干法腐蚀工艺—化学辅助离子束蚀刻

本文介绍一种新的干法腐蚀工艺——化学辅助离子束蚀刻(CAIBE),或者称作离子束辅助蚀刻(IBAE),它具有各向异性腐蚀,高的腐蚀选择比,对铝、硅、砷化镓等材料有高的腐蚀速率等特点,并使表面辐射损伤减到最小。