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| 离子轰击对溅射淀积DLC膜速率和性质的影响 | |
| 引用本文： | 黄良甫,罗崇泰,刘定权,徐明,杨益民,李守中,王天民,王维洁,刘贵昂.离子轰击对溅射淀积DLC膜速率和性质的影响[J].真空科学与技术学报,1991(5). |
| 作者姓名： | 黄良甫 罗崇泰 刘定权 徐明 杨益民 李守中 王天民 王维洁 刘贵昂 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所 (黄良甫，罗崇泰，刘定权，徐明，杨益民，李守中)，兰州大学材料科学系 (王天民，王维洁)，兰州大学材料科学系(刘贵昂) |
| 摘 要： | 在离子束溅射石墨靶淀积DLC膜的同时用离子束轰击,对于拓宽和改善DLC膜的性质有重要意义。本文报导了离子束轰击对DLC膜的成膜速率、电阻率、折射率、红外透过率和抗腐性等影响的实验结果,分析讨论了离子轰击的影响机制。 |
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