直拉单晶硅生长过程中固液界面形状研究

本文采用晶体生长软件CGSim对直拉单晶硅生长过程中固液界面进行了研究。讨论了不同晶体等径长度下固液界面形状的特点,模拟了晶体生长界面的变化过程;与此同时对不同晶体拉速、晶转、埚转对固液界面形状的影响进行研究,根据模拟结果确定影响固液界面的最优拉速、晶转及埚转。