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基于HFCVD法的金刚石涂层铰刀制备
作者姓名:迟英民  项礼  章世杰
作者单位:三束材料改性教育部重点实验室(大连理工大学);大连理工大学材料科学与工程学院
摘    要:钻孔后进行铰孔的精加工可以获得光滑的孔表面并消除毛刺,因此,使用金刚石涂层铰刀进行铰孔可以提高工件加工质量.采用双层热丝化学气相沉积(HFCVD)法在硬质合金铰刀上沉积金刚石薄膜,通过扫描电子显微镜和拉曼光谱对制备的薄膜进行表征.结果 表明:采用双层热丝结构用化学气相沉积法制备的金刚石涂层铰刀刀尖部分的金刚石颗粒在1....

关 键 词:双层热丝  化学气相沉积  金刚石薄膜  铰刀
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