S—570扫描电子显微镜维修数例

本文以实例介绍S—570扫描电镜数例故障现象及排除的方法。例一]一、故障现象:电镜在工作过程中,突然高压掉下,高压关闭,真空指示回转,真空绿色指示灯熄灭。二、检测:1.真空系统F_3熔断;2.冷测EVAC电源板,Q_6ec击穿,Q_1Q_2ec短路,焊下Q_1Q_2测量未坏,复位,发现散热板与be脚短路,因散热板有方位性,其中一散热板方位反了,窄空位朝be脚,使之碰触短路,这种反位是原机装板时所误;3.通电检查。A_3灯亮,但24V垮到8V左右,DP未工作,A_3电磁阀烧坏。三、故障排除:1.将散热板方位校正。Q_1Q_2短路排除;2.自制A_3线圈换上,工作恢复正常。