| 晶体生长控制中的高分辨力称重系统 |
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| 引用本文： | 耀飞黔,李艳杰.晶体生长控制中的高分辨力称重系统[J].传感器与微系统,2003,22(1):53-54. |
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| 作者姓名： | 耀飞黔 李艳杰 |
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| 作者单位： | 1. 西安理工大学,工厂,陕西,西安,710048
2. 中国电子科技集团公司,第49研究所,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 论述了晶体生长控制中高分辨力称重系统的实现技术。重点介绍了传感器的选型方法和信号调理电路的设计技术。系统达到了二十万分之一的有效分辨力。
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| 关 键 词： | 晶体生长 传感器 分辨力 信号调理 |
| 文章编号： | 1000-9787(2003)01-0053-02 |
| 修稿时间： | 2002年8月16日 |
Weighing system with high resolution in the crystal growth control |
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| Abstract: | *"The weighing system with high resolution in the crystal growth control is discussed,the method of type selecting of sensor and the signal processing circuit is presented emphatically.System has reached the effective resolution of 1/200*#000. |
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| Keywords: | crystal growth sensor resolution signal processing |
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