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| ITO靶材在黑化过程中面电阻波动的原因分析及解决方法 | |
| 作者姓名： | 李光哲 |
| 作者单位： | 深圳伟光导电膜有限公司 |
| 摘 要： | 一般来讲在镀ＩＴＯ导电膜玻璃时，靶材在使用过程中当积算时间达到１００～１２０ｋＷｈ时，黑化过程结束，虽然各项技术指标变差，但达到相对稳定的阶段。而在靶材黑化过渡过程中，（以ＵＬＶＡＣ公司的ＳＤＰ８５０－ＶＴＭ镀膜设备和Ｄ＝９２％的靶材为例），当积算时... |
| 关 键 词： | ITO膜 靶材 黑化 电阻波动 薄膜 |
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