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| SU-8胶高温碳化制备微电极研究 | |
| 作者姓名： | 李大维 李刚 菅傲群 |
| 作者单位： | 太原理工大学新型传感器和智能控制系统重点实验室(教育部); |
| 摘 要： | 采用SU-8光刻胶为前驱体,控制转速在硅基上均匀旋涂SU-8胶薄膜,采用不同碳化温度制得微型微机电系统(MEMS)超级电容器多孔碳电极材料。研究结果表明:在碳化温度为900℃的条件下,制得的MEMS超级电容器多孔碳电极材料的孔隙结构发达、导电性较好,0.5mA/cm~2电流密度下比电容可达49.3mF/cm~2,在超级电容器电极材料领域具有较好的市场前景。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |