第十七讲 薄膜与表面技术基础

另外,从降低应力的目的出发,在薄膜与基体的界面处,表面电子密度必须保持连续.因此,在材料筛选上,选择合适的薄膜材料可以在一定程度地防止高应力的产生;在沉积工艺上,如果采取能够减小薄膜和基体之间表面电子密度差的技术,可以有效地减小薄膜中的内应力.最近已经有研究者利用离子注入的方法,调整材料的表面电子密度,相关的实验结果证实,这确实能够很大程度地减小薄膜内的残余应力.