| 中频交流反应溅射TiO2薄膜制备及光催化性能研究 |
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| 引用本文： | 侯亚奇,张弓,庄大明,吴敏生.中频交流反应溅射TiO2薄膜制备及光催化性能研究[J].无机材料学报,2004,19(5):1073-1079. |
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| 作者姓名： | 侯亚奇 张弓 庄大明 吴敏生 |
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| 作者单位： | 清华大学机械工程系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 利用中频交流反应磁控溅射技术制备TiO2薄膜，利用AES、XRD和SEM分析了制得的TiO2薄膜的成分、结构和表面形貌，并利用多种降解对象研究了TiO2薄膜的光催化降解性能．结果发现：利用Ar／O2混合气体反应溅射纯Ti靶制备的TiO2薄膜符合化学计量比，呈现柱状生长．TiO2薄膜均为锐钛矿相，晶粒随薄膜厚度增加逐渐长大．制得的TiO2薄膜对亚甲基蓝、甲基橙和敌敌畏都具有确实的光催化降解效果，同时具有很好的光催化性能稳定性。
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| 关 键 词： | TiO2薄膜 中频交流磁控溅射 光催化降解 亚甲基蓝 甲基橙 |
| 文章编号： | 1000-324X(2004)05-1073-07 |
| 收稿时间： | 2003-9-8 |
| 修稿时间： | 2003-10-23 |
Photo catalytic Degradation Properties of Titanium Oxide Film Prepared by Mid-frequency AC Magnetron Sputtering |
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| HOU Ya-Qi,ZHANG Gong,ZHUANG Da-Ming,WU Min-Sheng.Photo catalytic Degradation Properties of Titanium Oxide Film Prepared by Mid-frequency AC Magnetron Sputtering[J].Journal of Inorganic Materials,2004,19(5):1073-1079. |
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| Authors: | HOU Ya-Qi ZHANG Gong ZHUANG Da-Ming WU Min-Sheng |
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| Affiliation: | DepartmentofMechanicalEngineering;TsinghuaUniversity;Beijing100084;China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | titanium oxide thin film mid-frequency AC magnetron sputtering photocatalytic degradation methylene blue methyl orange |
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