| 走带速率对Y2O3隔离层生长的影响 |
| |
| 引用本文： | 张华,金薇,刘慧舟,冯校亮,杨坚.走带速率对Y2O3隔离层生长的影响[J].稀有金属,2009,33(1). |
| |
| 作者姓名： | 张华 金薇 刘慧舟 冯校亮 杨坚 |
| |
| 作者单位： | 北京有色金属研究总院超导材料研究中心,北京,100088 |
| |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划(973计划)，国家高技术研究发展计划(863计划) |
| |
| 摘 要： | 采用反应溅射的方法在具有立方织构的Ni基底上连续制备了 Y2O3隔离层.用X射线θ～2θ扫描, φ扫描对薄膜的取向和织构进行表征,用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的表面形貌进行观察.主要研究了走带速率对隔离层外延生长及表面形貌的影响.实验表明:随着走带速率的增大,Y2O3的平面内φ扫描半高宽(FWHM)增大,(400)峰的相对强度减小,晶粒更加细小;同时,制备的三层Y2O3隔离层,其面内φ扫描半高宽取决于第一层的半高宽;最终在三层Y2O3隔离层上沉积了有良好外延取向的YBCO超导层,其FWHM为8.0°.
|
| 关 键 词： | 走带速率 Y2O3隔离层 反应溅射 表面形貌 |
Influence of Moving Speed on Epitaxial Growth of Y2O3 Buffer Layer |
| |
| Zhang Hua,Jin Wei,Liu Huizhou,Feng Xiaoliang,Yang Jian.Influence of Moving Speed on Epitaxial Growth of Y2O3 Buffer Layer[J].Chinese Journal of Rare Metals,2009,33(1). |
| |
| Authors: | Zhang Hua Jin Wei Liu Huizhou Feng Xiaoliang Yang Jian |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
