Seemann-Bohlin X射线薄膜衍射装置的强度分析 |
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引用本文: | 陶琨,董志力,陈顺英,王并举.Seemann-Bohlin X射线薄膜衍射装置的强度分析[J].金属学报,1987(5). |
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作者姓名: | 陶琨 董志力 陈顺英 王并举 |
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作者单位: | 清华大学材料科学研究所,清华大学材料科学研究所,清华大学材料科学研究所,清华大学材料科学研究所 |
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摘 要: | 研制了无前单色器Seemann-Bohlin掠射聚焦装置,并对Seemann-Bohlin法的衍射强度公式进行了讨论.计算表明:1.此装置测定表面层及薄膜的衍射强度约为普通衍射仪法的7—20倍。用1kW的X射线源即可快速测得7nm金膜的2θ<120.的衍射线.2.厚样品的衍射强度也可达一般衍射仪法的3—20倍.实验证实了这个结果.
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