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| 中红外薄膜的离子辅助淀积 | |
| 引用本文： | 熊胜明,张云洞.中红外薄膜的离子辅助淀积[J].激光与红外,1993,23(6):42-47. |
| 作者姓名： | 熊胜明 张云洞 |
| 作者单位： | 中科院光电所，中科院光电所 成都 610209，成都 610209 |
| 摘 要： | 本文研究了用离子束辅助淀积的中红外ＺｎＳ，ＺｎＳｅ，ＹｂＦ３，ＢａＦ２，ＢａＦ２＋ＣａＦ２（６：４）膜在３．８μｍ波长处光学特履和其它性能，用透射电镜和光电子能谱仪研究了这些单层膜微结构和化学计量比。实验发现离子束辅助淀积膜层填充密度增加，附着力增强，机械强和环境稳定性得到明显改善。用离子束辅助淀积的中红外反射膜在３．８μｍ波长反射率大于０．９９４。 |
| 关 键 词： | 离子辅助淀积 红外薄膜 光学特性 |
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