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| 电子化学品技术发展分析 | |
| 引用本文： | 于宸,顾方,鲁瑛,肖甲宏,白杨,朱文瀚.电子化学品技术发展分析[J].精细与专用化学品,2022(1):8-11. |
| 作者姓名： | 于宸 顾方 鲁瑛 肖甲宏 白杨 朱文瀚 |
| 摘 要： | 通过分析全球电子化学品(含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶)生产技术相关专利的申请态势,研究电子化学品生产技术的发展全貌,并分别对含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶技术的成熟度进行分析.重点分析了全球电子化学品领先企业的技术布局,并提出了我国今后的发展建议. |
| 关 键 词： | 电子化学品 含氟电子气体 湿电子化学品 光刻胶 科技发展 |