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| 真空镀膜法制备纳米铝颗粒膜及其表面等离激元共振特性研究 | |
| 引用本文： | 赵世奇,郝宏亮,巩燕龙,吴俊,褚向前,刘月豹,方应翠.真空镀膜法制备纳米铝颗粒膜及其表面等离激元共振特性研究[J].真空科学与技术学报,2022(1):46-54. |
| 作者姓名： | 赵世奇 郝宏亮 巩燕龙 吴俊 褚向前 刘月豹 方应翠 |
| 摘 要： | 采用直流磁控溅射镀膜技术制备了纳米铝颗粒膜,并尝试通过两种方式获得纳米铝的表面等离激元共振吸收峰,一种是先在室温石英基底上沉积纳米铝,再进行真空退火;另一种是在热石英基底上沉积纳米铝.用透射电镜和扫描电子显微镜、X-射线光电子谱、紫外-可见吸收光谱表征了样品的形貌和晶态结构、成份和吸收特性.采用比对的方式,研究了基底温... |
| 关 键 词： | 真空镀膜 纳米铝 表面等离激元共振 热基底 |