测定薄膜厚度的光学干涉法

本文报导了从光学干涉图形来无损测定反射衬底上的薄膜厚度;介绍了TR等新处理方法,在几百埃到十微米的厚度范围内,显示了简捷可靠的优点。讨论了外延材料光学干涉图形的位置、形状与其杂质截面分布之间的关系,还提出了光学测定多重薄膜厚度的可能性。