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高电流截止频率GaInP/GaAs HBT
作者姓名:焦智贤 蔡克理
摘    要:本文简要介绍了GaInP/GaAs HBT的发展现状,用湿法工艺制作了自对准GaInP/GaAs HBT,其电流截止频率高达50GHZ,性能优于我们在同等工艺条件下制作的AlGaAs/GaAsHBP。

关 键 词:异质结 双极晶体管 镓铟磷 砷化镓 截止频率
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