|
|||||
|
|
| 椭圆偏振光谱测定α-Si的空位总体积分数 | |
| 作者姓名： | 费庆宇 黄炳忠 |
| 作者单位： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所(费庆宇)，中山大学(黄炳忠) |
| 摘 要： | 利用椭圆偏振光谱测得α-Si薄膜的有效介电函数,然后借助Webman等发展的、适用于四面体无定形半导体材料的有效介质理论,可以获得α-Si样品的总空位体积分数。按Webman的有效介质理论,经多次散射,光通过复介电函数分别为ε_1(λ),ε_2(λ),…,ε_i(λ),…,ε_n(λ)的n种介质组成的导质系统,有如下关系: |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《红外与毫米波学报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《红外与毫米波学报》下载免费的PDF全文 | |