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| 激光直写技术的研究现状及其进展 | |
| 引用本文： | 徐兵,魏国军,陈林森.激光直写技术的研究现状及其进展[J].大气与环境光学学报,2004(6). |
| 作者姓名： | 徐兵 魏国军 陈林森 |
| 作者单位： | 苏州大学信息光学工程研究所，苏州大学信息光学工程研究所，苏州大学信息光学工程研究所 江苏 苏州 215006，江苏 苏州 215006，江苏 苏州 215006 |
| 摘 要： | 介绍了激光直写技术的最新发展现状,系统的功能、结构和工作方式,对当前该系统存在的一些问题进行了归纳分析,探讨了系统的应用范围和今后的发展方向。 |
| 关 键 词： | 激光直写 二元光学元件 光刻 空间光调制器 光变图像 |
Research Advances in Technology of Laser Direct Writing |
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| XU Bing,WEI Guo-jun,CHEN Lin-sen.Research Advances in Technology of Laser Direct Writing[J].Journal of Atmospheric and Environmental Optics,2004(6). | |
| Authors: | XU Bing WEI Guo-jun CHEN Lin-sen |
| Abstract: | The paper briefly introduces the background of laser direct writing.The performances of the different types of laser direct writing systems are compared.The new schemes of laser direct-writing system are discussed . |
| Keywords: | laser direct writing(LDW) binary optical element( BOE) photolithography spatial light mod ulator(SLM) optical variable device (OVD) |
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