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| 气相生长法制备多晶硅管的工艺研究 | |
| 作者单位： | 冶金工业部有色金属研究总院403室硅管研制组 |
| 摘 要： | 一、引言半导体硅是电子工业发展的重要基础材料之一,其质量决定着电子工业发展的水平,对实现四个现代化起着关键作用。当前硅材料制备工艺已很成熟,质量达到相当高的水平,已能满足功率元件,各种晶体管,集成电路及大规模集成电路的要求。由于超 |
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