| 单晶硅等效机械特性的实验研究 |
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| 引用本文： | 张旭,李浩,肖定邦,侯占强,王兴华,吴学忠.单晶硅等效机械特性的实验研究[J].传感技术学报,2012,25(8):1059-1063. |
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| 作者姓名： | 张旭 李浩 肖定邦 侯占强 王兴华 吴学忠 |
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| 作者单位： | 国防科学技术大学机电工程及自动化学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(51175506) |
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| 摘 要： | 单晶硅广泛应用于MEMS器件中。根据等效刚度原理,单晶硅可以简化为各向同性材料。介绍了一种采用湿法腐蚀工艺加工的倾斜硅梁,并利用频率响应特性测试了其等效杨氏模量和等效泊松比。采用(100)硅片制作了八组不同尺寸参数的倾斜硅梁。梁的宽度尺寸间隔为30μm,尺寸范围为30μm～240μm,对应宽高比为1/8～1。实验结果证明了等效杨氏模量与倾斜梁尺寸无关,而等效泊松比不仅和单晶硅的特性相关,而且受倾斜梁尺寸的影响。实验得到的等效杨氏模量为170.51 GPa±2.08 GPa。对等效泊松比的测量结果在Matlab中进行了多项式拟合,7次拟合多项式已经与测试结果具有很好的一致性。
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| 关 键 词： | 单晶硅 等效杨氏模量 等效泊松比 倾斜硅梁 频率响应测试 |
Experimental study on the equivalent mechanical properties of single crystal silicon* |
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| ZHANG Xu,LI Hao,XIAO Dingbang,HOU Zhanqiang,WANG Xinghua,WU Xuezhong.Experimental study on the equivalent mechanical properties of single crystal silicon*[J].Journal of Transduction Technology,2012,25(8):1059-1063. |
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| Authors: | ZHANG Xu LI Hao XIAO Dingbang HOU Zhanqiang WANG Xinghua WU Xuezhong |
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| Affiliation: | (College of Mechanical Engineering and Automation,National University of Defense Technology,Changsha 410073,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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