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| 微机械陀螺仪的工作原理及其应用 | |
| 作者姓名： | 闫子波 魏鸣 |
| 作者单位： | 意法半导体公司 |
| 摘 要： | 本文详细介绍了意法半导体公司的电容式微机械陀螺仪的基本工作原理，其采用对称双质量块结构，驱动质量块由静电力驱动产生可控的运动速度，而检测质量块则由哥氏力推动运动。振荡驱动电路采用了双闭环的控制结构，有效地减小了温度或其它缺陷对振幅的影响，显著提高了陀螺仪的分辨率和稳定性。最后，以单轴偏航陀螺仪LY530AL为例， |
| 关 键 词： | 微机械陀螺仪 哥氏力现象 ST |
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