Affiliation: | a Departement Natuurkunde, Laboratorium voor Akoestiek en Thermische Fysica, Katholieke Universiteit Leuven, Celestijnenlaan 200D, B-3001 Leuven, Belgium b Department of Lithography, Silicon Process Technology Division, Imec, Kapeldreef 75, B3001 Leuven, Belgium c Postdoctoral researcher for Fonds voor Wetenschappelijk, Onderzoek-Vlaanderen, Belgium |