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逆扩散型氦质谱检漏仪在冰箱检漏工作中的应用
引用本文:叶涛.逆扩散型氦质谱检漏仪在冰箱检漏工作中的应用[J].真空,1990(3).
作者姓名:叶涛
作者单位:中国科学院科学仪器厂
摘    要:逆扩散型氦质谱检漏仪可以直接用吸枪对冰箱检漏。这种方法检测灵敏度高、操作 简便、无需液氮、无需辅助真空设备、无需排风设备、无毒、无害且能达到A级冰箱检 测标准。

关 键 词:逆扩散  氦质谱检漏仪  冰箱  应用
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