| 直线电机的线性自抗扰控制 |
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| 引用本文： | 刘川,朱非甲,马伟,陈兴林.直线电机的线性自抗扰控制[J].电机与控制学报,2013,17(1):71-76. |
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| 作者姓名： | 刘川 朱非甲 马伟 陈兴林 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学航天学院,黑龙江哈尔滨,150001
2. 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 国家科技重大专项资助项目 |
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| 摘 要： | 光刻机的工件台是高动态精密伺服运动平台,它要求在系统高速运动的同时,采用长行程直线电机宏动跟随音圈电机高精密微动的驱动方式,实现系统纳米级的精确定位及跟踪。为减小微动电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机的跟踪精度。针对该系统的直线电机模型设计了一种线性自抗扰控制方法,该方法的控制器首先通过扩张状态观测器观测系统的动态变化,补偿系统中的各种扰动,再运用前馈对系统的跟踪误差进行补偿,减小系统的动态跟踪误差。在此复合控制方式下,控制器实现了自抗扰控制,前馈控制器很好的补偿了误差,从而提高了系统的抗干扰和跟踪性能。实验表明,该方法与传统的控制方法相比,改善了系统的动态性能和抗干扰能力。
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| 关 键 词： | 光刻机 工件台 直线电机 线性自抗扰 前馈补偿 高动态精密伺服 |
Research on linear active disturbance rejection control over linear motor |
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| LIU Chuan
,
ZHU Fei-jia
,
MA Wei
,
CHEN Xing-lin.Research on linear active disturbance rejection control over linear motor[J].Electric Machines and Control,2013,17(1):71-76. |
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| Authors: | LIU Chuan ZHU Fei-jia MA Wei CHEN Xing-lin |
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| Affiliation: | 1(1.School of Astronautics,Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China; 2.Ultra Precision Optical Instrument Engineering Research Institute,Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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