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| SOI在射频电路中的应用 | |
| 引用本文： | 骆苏华,刘卫丽,张苗,狄增峰,王石冶,宋志棠,孙晓玮,林成鲁.SOI在射频电路中的应用[J].微电子学,2005,35(1):67-70. |
| 作者姓名： | 骆苏华 刘卫丽 张苗 狄增峰 王石冶 宋志棠 孙晓玮 林成鲁 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,国家半导体功能薄膜工程技术研究中心;中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,射频与微波集成系统实验室,上海,200050 2. 中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,国家半导体功能薄膜工程技术研究中心 3. 中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,射频与微波集成系统实验室,上海,200050 |
| 基金项目： | 上海市纳米科技专项基金，国家重点基础研究发展计划(973计划)，国家自然科学基金 |
| 摘 要： | 随着射频电路(RF)工作频率和集成度的提高,衬底材料对电路性能的影响越来越大.SOI(Silicon-on-Insulator)结构以其良好的电学性能,为系统设计提供了灵活性.与CMOS工艺的兼容使它能将数字电路与模拟电路混合,在射频电路应用方面显示巨大优势.文章分析了RF电路发展中遇到的挑战和SOI在RF电路中的应用优势,综述了SOI RF电路的最新进展. |
| 关 键 词： | 射频集成电路 高阻SOI |
| 文章编号： | 1004-3365(2005)01-0067-04 |
Applications of SOI in RF Circuits |
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| LUO Su-hua,LIU Wei-li,ZHANG Miao,DI Zeng-feng,WANG Shi-ye,SONG Zhi-tang,SUN Xiao-wei,LIN Cheng-lu.Applications of SOI in RF Circuits[J].Microelectronics,2005,35(1):67-70. | |
| Authors: | LUO Su-hua LIU Wei-li ZHANG Miao DI Zeng-feng WANG Shi-ye SONG Zhi-tang SUN Xiao-wei LIN Cheng-lu |
| Abstract: | With the improvement of the operation frequency and integration of radio frequency circuits, the impact of the substrate on the circuit performance is becoming more and more serious. With its smart structure, SOI offers additional design advantages over bulk CMOS technology due to its excellent electrical property. The compatibility with CMOS process makes it possible to incorporate digital and analog circuits on a single chip. Challenges encountered in the development of RF circuits are analyzed, as well as the advantages of SOI in RF applications. The state-of-the-art of SOI for RF IC's is reviewed. |
| Keywords: | FD-SOI CMOS SIMOX |
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