一种用于检测金属物体轮廓和材料性能的新型传感器——涡流阵列

在1993年10月于德国纽伦堡举行的第六届国际传感与系统技术博览会及学术会议上,介绍了一种集成涡流探测器阵列。该阵列由总长25mm的64个磁阻元件组成,采用薄膜工艺制作。激励磁场由环绕线列的环状共用线圈产生。每个传感单元都可以检测到由涡流在受检物体内部产生的磁场畸变,由此获得传感器下方与检测物体的几何形状或材料特性相关的分布轮廓线。