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用于无损检测的软X射线电视显微镜
作者姓名:谈凯声 李自高
作者单位:中科院电子学研究所(谈凯声,李自高),中科院电子学研究所(陈绍风)
摘    要:介绍一种用于无损检测的软X射线电视显微镜,并给出了用该设备检测几种不同类型样品的结果。

关 键 词:X射线 显微镜 无损检验
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