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| 超精密加工技术 | |
| 作者姓名： | 沐志成 |
| 摘 要： | 超精密加工是从1960年开始发展起来的一项新技术。所谓超精密加工是指加工精度达到0.1～0.01微米的加工。 由图1可以看出,在19世纪下半叶,加工精度为1毫米级;进入20世纪,能可靠地达到10微米级,从而使零件有严格互换要求的军火工业得到迅速发展。现在,由于超精密加工的应用,不但提高了机床的性能和可靠性,而且保证一些新技术的实现(例如超大规模集成电路)。因此,随着加工技术的发展,过去作为超精密加工的技术,现在已是被作为精密加工技术而应用于成批生产。要想将超精密加工技术成批用于生产,就得研制一种适应这一工艺特点的特殊机床。在没有… |
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