| 声表面波直线电机研究进展 |
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| 引用本文： | 熊瑛,邬玉亭,褚家如.声表面波直线电机研究进展[J].微电机,2004,37(3):18-20. |
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| 作者姓名： | 熊瑛 邬玉亭 褚家如 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学,安徽,合肥,230026 |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型的超声电机——声表面波直线电机。这是一种具有极高的分辨率(几个纳米)．长工作行程(几十厘米)的微驱动器。文中从工作原理、实验装置以及存在的问题等方面介绍这种电机的研究发展。
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| 关 键 词： | 声表面波直线电机 超声电机 纳米技术 微执行器 |
| 文章编号： | 1001-6848(2003)03-0018-03 |
| 修稿时间： | 2003年7月2日 |
Progress in the Surface Acoustic Wave Linear Motor |
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| XIONG Ying,WU Yu-ting,CHU Jia-ru.Progress in the Surface Acoustic Wave Linear Motor[J].Micromotors,2004,37(3):18-20. |
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| Authors: | XIONG Ying WU Yu-ting CHU Jia-ru |
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| Abstract: | This paper focus on one type of ultrasonic motors, the surface acoustic wave linear motor. It is a micro actuator with high resolution and long stroke. A review on the work principle, experiment setup, shortcomings of the motor is given in this paper. |
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| Keywords: | surface acoustic wave interdigital transducer piezoelectric material linear motor |
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