聚焦重离子束溅射沉积薄膜

本文介绍了聚焦重离子束溅射装置的结构和运行参数。该装置的最高加速电压为10kV,最大离子束流为2mA,蕞小离子束斑为φ1.5mm。利用这台装置,沉积了二十六种金属材料的有衬底薄膜、五种元素的无衬底薄膜和一些稀土氧化物薄膜。研究了单位面积沉积率与靶材质量数的关系。给出了一些升华材料的溅射沉积参数。