| 退火温度对BZT薄膜微结构的影响研究 |
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| 引用本文： | 郭冬娇,刘行冰,张玉芹,周妮妮,邓小玲. 退火温度对BZT薄膜微结构的影响研究[J]. 重庆科技学院学报(自然科学版), 2011, 13(1): 123-124 |
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| 作者姓名： | 郭冬娇 刘行冰 张玉芹 周妮妮 邓小玲 |
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| 作者单位： | 重庆科技学院，重庆,401331 |
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| 基金项目： | 重庆科技学院大学生科技创新项目 |
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| 摘 要： | 采用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba(Zr0.2Ti0.8)O3(BZT)薄膜.X射线衍射分析表明,该BZT薄膜为钙钛矿结构而无其他物相存在.光学显微镜分析结果表明,退火温度为900℃时,BZT薄膜表面光滑平整,无裂纹产生.
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶 BZT薄膜 退火温度：微结构 |
Effect of Annealing Temperature on Microstructure of BZT Film |
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| GUO Dong-jiao,LIU Xing-bing,ZHANG Yu-qin,ZHOU Ni-ni,DENG Xiao-ling. Effect of Annealing Temperature on Microstructure of BZT Film[J]. Journal of Chongqing University of Science and Technology:Natural Science Edition, 2011, 13(1): 123-124 |
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| Authors: | GUO Dong-jiao LIU Xing-bing ZHANG Yu-qin ZHOU Ni-ni DENG Xiao-ling |
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| Affiliation: | (Chongqing University of Science and Technology,Chongqing 401331) |
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