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| 投影曝光中图形的衍射花样 | |
| 引用本文： | 刘风岐.投影曝光中图形的衍射花样[J].半导体技术,1989(4):36-38. |
| 作者姓名： | 刘风岐 |
| 作者单位： | 骊山微电子公司 |
| 摘 要： | 随着集成电路在几个平方毫米芯片内的集成度规模不断提高,图形的设计尺寸也越来越小.对于传统的投影曝光系统,欲保证曝光图形的保真度也越来越困难.这是因为图形失真的重要因素是光的衍射. |
| 关 键 词： | 集成电路 曝光 图形 衍射 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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