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| 对引进磁控溅射镀膜生产线国产化技术改造的尝试 | |
| 引用本文： | 赵峰,陆京.对引进磁控溅射镀膜生产线国产化技术改造的尝试[J].真空,1999(3):27-30. |
| 作者姓名： | 赵峰 陆京 |
| 作者单位： | 秦皇岛耀华镀膜玻璃厂(赵峰)，沈阳真空机械厂(陆京) |
| 摘 要： | 本文通过对引进国外大型磁控溅射镀膜玻璃生产线增设高真空抽气系统国产化技改工作及为开发反应膜对工艺溅射室分隔的技巧工作，应用镀膜技术及原理成功地解决了一些技术问题，达到了提高产品质量，开发新产品之目的。 |
| 关 键 词： | 磁控溅射 国产化 技术改造 镀膜玻璃 生产线 |
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