| 雪崩光电二极管芯片自动测试系统 |
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| 引用本文： | 杨红伟,张岩,齐利芳,尹顺政.雪崩光电二极管芯片自动测试系统[J].半导体技术,2015,40(6):473-477. |
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| 作者姓名： | 杨红伟 张岩 齐利芳 尹顺政 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051;中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051;中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051;中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051 |
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| 摘 要： | 利用Keithley 2400源表、AV6381可编程光衰减器、AV 38124 1 550 nm单模半导体激光器和TZ-608B型光电屏蔽探针台搭建雪崩光电二极管芯片自动测试系统.在Labview环境下开发了自动测试软件,通过软件控制测量仪表,实现了雪崩光电二极管芯片的击穿电压、暗电流、穿通电压及10倍增益工作点电压的自动测试及合格判定.探针台可以根据测量系统反馈的判定结果对不合格芯片进行NG标记,方便划片后对不合格芯片进行筛选和剔除.建立的自动测试系统准确性高,测试速度快,软件操作方便,显示结果直观.同时可以实现测试参数的自动存储,方便进行统计过程控制(SPC)分析.
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| 关 键 词： | 雪崩光电二极管芯片 击穿电压 穿通电压 暗电流 测试系统 |
Establishment of Avalanche Photodiode Chip Auto Test System |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | avalanche photodiode breakdown voltage punch-through voltage dark current test system |
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