| 用于微镜制作的叠层光刻胶工艺及残余应力控制 |
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| 引用本文： | 李加东,张平,吴一辉,宣明,刘永顺,王淑荣. 用于微镜制作的叠层光刻胶工艺及残余应力控制[J]. 光学精密工程, 2008, 16(11) |
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| 作者姓名： | 李加东 张平 吴一辉 宣明 刘永顺 王淑荣 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033;中国科学院,研究生院,北京,100039
2. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033 |
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| 摘 要： | 对应用于微反射镜制作的叠层光刻胶牺牲层工艺及微反射镜表面残余应力控制进行了研究.讨论了光刻胶牺牲层在电镀时的污染问题,提出了用电镀结束后重新制作光刻胶牺牲层的方法来保证牺牲层表面质量.同时提出蒸发电镀相结合的工艺,解决了上层光刻胶溶剂穿过中间结构层浸入底层光刻胶的问题,并通过控制蒸发与电镀过程中应力状态不同的两层金属薄膜的厚度解决了微反射镜镜面存在残余应力问题.最后成功释放了620 μm×500 μm×2μm,悬空高12 μm的微反射镜结构.
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| 关 键 词： | 微反射镜 叠层光刻胶 牺牲层 残余应力 |
Laminated photoresist layer technology and residual stress control for micromirror fabrication |
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| LI Jia-dong,ZHANG Ping,WU Yi-hui,XUAN Ming,LIU Yong-shun,WANG Shu-rong. Laminated photoresist layer technology and residual stress control for micromirror fabrication[J]. Optics and Precision Engineering, 2008, 16(11) |
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| Authors: | LI Jia-dong ZHANG Ping WU Yi-hui XUAN Ming LIU Yong-shun WANG Shu-rong |
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